Heizvorrichtung in einer Halbleitervorrichtung und Halbleitervorrichtung

EP4135477 Art A1 15. Februar 2023

Anmelder: Beijing NAURA Microelectronics Equipment Co., Ltd. 🇨🇳

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4135477
Aktenzeichen: EP21785131
Anmeldetag: 1. April 2021
Veröffentlichung: 15. Februar 2023
Rechtsraum: EP
IPC: H05B3/28H05B3/18H01L21/67C23C14/54H01L21/687H01J37/34H01J37/32C23C14/50C23C14/34

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Beijing NAURA Microelectronics Equipment Co., Ltd.
Land: 🇨🇳 China

🇨🇳 Beijing NAURA Microelectronics Equipment

Beijing NAURA Microelectronics Equipment ist ein chinesischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie und Oberflächentechnik, mit weiteren Anmeldungen in Elektronik und Prozesssteuerung. Anmeldungen reichen von 2013 bis in die Gegenwart.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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