Verfahren zur Herstellung einer Epitaktisch Beschichteten Hableiterscheibe aus Einkristallinem Silizium

EP4137613 Art A1 22. Februar 2023

Anmelder: Siltronic AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4137613
Aktenzeichen
EP21191891
Anmeldetag
18. August 2021
Veröffentlichung
22. Februar 2023
Rechtsraum
EP
IPC
C30B15/20C30B15/30C30B29/06
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Siltronic AG
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Siltronic

Deutscher Halbleiterzulieferer mit Sitz in München. Siltronic stellt hochreine Siliziumwafer für die Chip- und Elektronikindustrie her.

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