Hochvakuumpumpen, Verfahren zu Ihrer Herstellung und Ihre Verwendung
EP4139496
Art A1
1. März 2023
Anmelder: Edwards Limited 🇬🇧
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4139496
- Aktenzeichen
- EP21721160
- Anmeldetag
- 14. April 2021
- Veröffentlichung
- 1. März 2023
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C16/44F04D19/04F04D29/02
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Edwards Limited
- Land
- 🇬🇧 Großbritannien
🇬🇧
Edwards Limited
Britischer Hersteller von Vakuumpumpen und Abgasbehandlungssystemen mit Sitz in Burgess Hill, Teil des Atlas Copco Konzerns. Patente betreffen Vakuumtechnik für Halbleiter- und Industrieanwendungen.
524 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Totman, Clare Elizabeth
London, Großbritannien
103
Patente gesamt
14
Fachgebiete
6
Anmelder-Länder
Schwerpunkte