Verfahren zum Selektiven Gasphasenätzen von Silizium-Germanium-Schichten

EP4139952 Art A1 1. März 2023

Anmelder: Praxair Technology, Inc., Linde GmbH 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4139952
Aktenzeichen: EP21722049
Anmeldetag: 7. April 2021
Veröffentlichung: 1. März 2023
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/3065H01L21/3213

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Praxair Technology, Inc.
Linde GmbH
Land: 🇺🇸 USA

🇩🇪 Linde

Deutscher Industriegasekonzern mit Wurzeln in München, gegründet 1879. Entwickelt und liefert technische Gase sowie Anlagen zur Gasverarbeitung für Industrie, Medizin und Energiewirtschaft.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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