Verfahren zur Steuerung einer Verdampfungsrate von Quellmaterial, Detektor zur Messung Elektromagnetischer Strahlung auf der Quellenoberfläche und Thermisches Verdampfungssystem

EP4143361 Art A1 8. März 2023

Anmelder: Max-Planck-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften e.V. 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4143361
Aktenzeichen: EP20736309
Anmeldetag: 30. Juni 2020
Veröffentlichung: 8. März 2023
Rechtsraum: EP
IPC: C23C14/24C23C14/28C23C14/54G01K7/00G01J5/04G01J5/06G01J5/12G01J1/42G01K17/00G01K17/10

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Max-Planck-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften e.V.
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Max-Planck-Gesellschaft

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Metallurgie & Oberflächentechnik

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