Antriebsvorrichtung, Optisches System und Lithographiegerät

EP4143961 Art B1 19. Juni 2024

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4143961
Aktenzeichen: EP21722389
Anmeldetag: 23. April 2021
Veröffentlichung: 19. Juni 2024
Erteilung: 19. Juni 2024
Rechtsraum: EP
IPC: H02N2/06G02B26/08G02B5/08G03F7/00G02B5/09

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Optik & Fototechnik

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