Substratbehandlungsvorrichtung, Substratbehandlungsverfahren, Verfahren zur Erzeugung von Lerndaten, Lernverfahren, Lernvorrichtung, Verfahren zur Erzeugung eines Gelernten Modells und Gelerntes Modell

EP4145492 Art B1 2. Juli 2025

Anmelder: SCREEN Holdings Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4145492
Aktenzeichen: EP21795461
Anmeldetag: 11. März 2021
Veröffentlichung: 2. Juli 2025
Erteilung: 2. Juli 2025
Rechtsraum: EP
IPC: G05B19/418G03F7/42H01L21/027H01L21/311H01L21/67H01L21/683H01L21/687

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: SCREEN Holdings Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 SCREEN Holdings

Japanischer Technologiekonzern. SCREEN Holdings stellt Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie her, insbesondere Wafer-Reinigungs- und Beschichtungssysteme, sowie Druck- und Bildverarbeitungstechnik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik Steuerungs- & Regelungstechnik

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