Rasterelektronenmikroskop und Kartenanzeigeverfahren für Absorptionsrandstruktur

EP4148422 Art B1 16. April 2025

Anmelder: JEOL Ltd., Jeol Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4148422
Aktenzeichen: EP22193636
Anmeldetag: 2. September 2022
Veröffentlichung: 16. April 2025
Erteilung: 16. April 2025
Rechtsraum: EP
IPC: G01N23/2252H01J37/28H01J37/22

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: JEOL Ltd.
Jeol Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 JEOL

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, das wissenschaftliche und industrielle Präzisionsgeräte entwickelt, darunter Elektronenmikroskope, Analysegeräte und Halbleiterfertigungsanlagen.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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