Systeme und Verfahren zur Erkennung von Defekten in einer Strukturierungsvorrichtung

EP4148499 Art A1 15. März 2023

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4148499
Aktenzeichen: EP21195866
Anmeldetag: 9. September 2021
Veröffentlichung: 15. März 2023
Rechtsraum: EP
IPC: G03F1/84G01N21/956G03F7/20G06T7/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung

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