Verfahren und System zur Übertragung von Ausrichtungsmarkierungen zwischen Substratsystemen

EP4150409 Art A1 22. März 2023

Anmelder: Semileds Corporation, SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD. 🇹🇼

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4150409
Aktenzeichen: EP21805175
Anmeldetag: 3. Mai 2021
Veröffentlichung: 22. März 2023
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/683H01L23/544// H01L23/00H01L25/065H01L25/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Semileds Corporation
SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD.
Land: 🇹🇼 Taiwan

🇯🇵 Shin-Etsu Chemical

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio. Shin-Etsu Chemical stellt Siliziumwafer für Halbleiter, Silikonprodukte, PVC und weitere Spezialchemikalien für Elektronik-, Bau- und Industrieanwendungen her.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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