Korrelation von Bilddesign zu Wafer durch Kombination von Informationen aus mehreren Sammelkanälen
EP4150573
Art A1
22. März 2023
Anmelder: KLA Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4150573
- Aktenzeichen
- EP21826439
- Anmeldetag
- 9. Juni 2021
- Veröffentlichung
- 22. März 2023
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G06T5/50G06T7/00G01R31/311G01N21/956G01N21/95
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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