Unüberwachtes Lernen zum Nachweis von Defekten bei Repeatern

EP4154303 Art A1 29. März 2023

Anmelder: KLA Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4154303
Aktenzeichen
EP21859013
Anmeldetag
18. August 2021
Veröffentlichung
29. März 2023
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/66G06T7/00G06N20/00G06V10/25G06V10/20G06V10/26G06V20/70G06V10/762G06V10/764G06V10/44G06N20/10
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
KLA Corporation
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 KLA Corporation

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

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