Hybrider Tröpfchengenerator für Extrem-Ultraviolett-Lichtquellen in Lithographischen Strahlungssystemen

EP4154685 Art A1 29. März 2023

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4154685
Aktenzeichen: EP21722399
Anmeldetag: 26. April 2021
Veröffentlichung: 29. März 2023
Rechtsraum: EP
IPC: H05G2/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik

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