Vakuumpumpe mit Verbessertem Saugvermögen der Holweck-Pumpstufe

Details

Veröffentlichungs-Nr.

EP4155549

Aktenzeichen

EP22207215

Anmeldetag

14. November 2022

Veröffentlichung

4. September 2024

Erteilung

4. September 2024

Rechtsraum

EP

IPC

F04D19/04F04D29/52

Abstract

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vakuumpumpe, insbesondere Turbomolekularvakuumpumpe, mit einem Pumpeneinlass, einem Pumpenauslass und zumindest einer Holweck-Pumpstufe, die eine Holweck-Statorhülse mit einer Innenseite und einer Außenseite und ein dem Pumpeneinlass entgegen der Pumprichtung zugewandtes Einlassende aufweist. An der Innenseite und/oder an der Außenseite der Holweck-Statorhülse ist ein Holweck-Gewinde mit mehreren spiralförmig umlaufenden Stegen ausgebildet, die jeweils eine dem Einlassende zugewandte erste Gewindeflanke und eine dem Einlassende abgewandte zweite Gewindeflanke aufweisen. Die Stege weisen am Einlassende der zumindest einen Holweck-Pumpstufe jeweils eine radial ausgerichtete Stirnfläche auf, die mit der zweiten Gewindeflanke einen überstumpfen ersten Winkel einschließt, welcher kleiner als 300° ist.

Anmelder

Firma

Pfeiffer Vacuum Technology AG

Land

🇩🇪 Deutschland

Fachgebiete