Vakuumpumpe und Verfahren zum Betreiben einer Vakuumpumpe

EP4155550 Art A1 29. März 2023

Anmelder: Pfeiffer Vacuum Technology AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4155550
Aktenzeichen
EP22217289
Anmeldetag
30. Dezember 2022
Veröffentlichung
29. März 2023
Rechtsraum
EP
IPC
F04D19/04F04D29/02F04D29/32
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Pfeiffer Vacuum Technology AG
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Pfeiffer Vacuum

Deutsches Unternehmen, das Vakuumpumpen und Vakuumtechnik für Industrie, Forschung und Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt.

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