Substratverarbeitungsvorrichtung, Verwendung der Substratverarbeitungsvorrichtung, Verfahren zur Herstellung eines Halbleiterbauelements und Computerprogrammprodukt
EP4156235
Art B1
14. Februar 2024
Anmelder: Kokusai Electric Corp. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4156235
- Aktenzeichen
- EP22191301
- Anmeldetag
- 19. August 2022
- Veröffentlichung
- 14. Februar 2024
- Erteilung
- 14. Februar 2024
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/67H01L21/673
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Kokusai Electric Corp.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Kokusai Electric
Kokusai Electric ist ein japanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Schwerpunkt Wärmebehandlungssysteme. Das Patentportfolio konzentriert sich fast vollständig auf Halbleiter- und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie und Oberflächentechnik. Anmeldungen sind seit 2000 dokumentiert.
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Thomas Verscht Patentanwalt
München, Deutschland
Münchner Patentanwalt Thomas Verscht, Diplom-Physiker, berät zu Patenten, Marken und Designs für nationale und internationale Mandanten.
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