Substratverarbeitungsverfahren und Substratverarbeitungsvorrichtung

EP4159325 Art A1 5. April 2023

Anmelder: SCREEN Holdings Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4159325
Aktenzeichen: EP21812075
Anmeldetag: 12. Mai 2021
Veröffentlichung: 5. April 2023
Rechtsraum: EP
IPC: G06T7/00B05C11/00B05C11/08B05C11/10H01L21/027H01L21/304H01L21/306H01L21/67

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: SCREEN Holdings Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 SCREEN Holdings

Japanischer Technologiekonzern. SCREEN Holdings stellt Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie her, insbesondere Wafer-Reinigungs- und Beschichtungssysteme, sowie Druck- und Bildverarbeitungstechnik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Software & Datenverarbeitung Verfahrens- & Trenntechnik

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