Substratverarbeitungsvorrichtung, Substratverarbeitungsverfahren, Verfahren zur Erzeugung von Lerndaten, Lernverfahren, Lernvorrichtung, Verfahren zur Erzeugung eines Gelernten Modells und Gelerntes Modell

EP4160653 Art B1 24. September 2025

Anmelder: SCREEN Holdings Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4160653
Aktenzeichen: EP21813408
Anmeldetag: 28. April 2021
Veröffentlichung: 24. September 2025
Erteilung: 24. September 2025
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/02H01L21/304G06N20/00H01L21/67

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: SCREEN Holdings Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 SCREEN Holdings

Japanischer Technologiekonzern. SCREEN Holdings stellt Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie her, insbesondere Wafer-Reinigungs- und Beschichtungssysteme, sowie Druck- und Bildverarbeitungstechnik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Software & Datenverarbeitung

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