Werkzeug zur Überwachung der Faserausrichtung und Zugehöriges Verfahren zur Faserausrichtung

EP4163687 Art A1 12. April 2023

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4163687
Aktenzeichen: EP21201127
Anmeldetag: 6. Oktober 2021
Veröffentlichung: 12. April 2023
Rechtsraum: EP
IPC: G02B6/42G03F7/20G03F9/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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