Verbesserte Breitbandige Strahlungserzeugung in Photonischen Kristallen oder Hochgradig Nichtlinearen Fasern

EP4163715 Art A1 12. April 2023

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4163715
Aktenzeichen
EP21201043
Anmeldetag
5. Oktober 2021
Veröffentlichung
12. April 2023
Rechtsraum
EP
IPC
G02F1/35G02B6/02G02F1/365
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
ASML Netherlands B.V.
Land
🇳🇱 Niederlande
🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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