Ausrichtung eines Sem-Bildes

EP4163869 Art A1 12. April 2023

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4163869
Aktenzeichen: EP21202040
Anmeldetag: 11. Oktober 2021
Veröffentlichung: 12. April 2023
Rechtsraum: EP
IPC: G06T7/00G06T7/37

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Software & Datenverarbeitung

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