Verfahren zur Herstellung eines Konkaven Beugungsgitters und Optische Vorrichtung

EP4166999 Art A1 19. April 2023

Anmelder: HITACHI HIGH-TECH CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4166999
Aktenzeichen
EP21824755
Anmeldetag
25. Februar 2021
Veröffentlichung
19. April 2023
Rechtsraum
EP
IPC
G02B5/18B29C59/02
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
HITACHI HIGH-TECH CORPORATION
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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