Elektronenoptisches Modul zur Erzeugung eines Ausseraxialen Elektronenstrahls mit Abstimmbarem Koma

EP4167265 Art A1 19. April 2023

Anmelder: FEI Company 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4167265
Aktenzeichen: EP22198145
Anmeldetag: 27. September 2022
Veröffentlichung: 19. April 2023
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/153

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: FEI Company
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 FEI Company

US-amerikanischer Hersteller von Elektronenmikroskopen und wissenschaftlichen Bildgebungssystemen, seit 2016 Teil von Thermo Fisher Scientific. Patente betreffen Elektronen- und Ionenmikroskopie sowie Materialanalyse.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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