Elektrischer Verbinder für Hohe Leistung in einer Vakuumumgebung und Verfahren

EP4167391 Art A1 19. April 2023

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4167391
Aktenzeichen: EP21202421
Anmeldetag: 13. Oktober 2021
Veröffentlichung: 19. April 2023
Rechtsraum: EP
IPC: H01R13/53H01R13/648H01R13/533// H01R24/50H01R12/73G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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