Materialrückgewinnungssysteme für Optische Komponenten
EP4168356
Art A1
26. April 2023
Anmelder: KLA Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4168356
- Aktenzeichen
- EP21853800
- Anmeldetag
- 5. August 2021
- Veröffentlichung
- 26. April 2023
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C01B9/08C01F5/26C01F7/50C01F11/22C01F17/265C01D15/04B01J19/12G02B1/00B01J3/00G02B27/00H01J37/305
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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