Fluordotierte Optische Materialien für Optische Komponenten
EP4168602
Art A1
26. April 2023
Anmelder: KLA Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4168602
- Aktenzeichen
- EP21859008
- Anmeldetag
- 17. August 2021
- Veröffentlichung
- 26. April 2023
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C14/00C23C14/02C23C14/06C23C14/22C23C14/30C23C14/34C23C14/46G02B1/14
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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