Schutz von Optischen Materialien von Optischen Komponenten vor Strahlungsabbau

EP4168832 Art A1 26. April 2023

Anmelder: KLA Corporation, Carl Zeiss SMT GmbH 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4168832
Aktenzeichen: EP21862609
Anmeldetag: 24. August 2021
Veröffentlichung: 26. April 2023
Rechtsraum: EP
IPC: G02B1/02G02B1/10G02B1/14G02B5/08

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: KLA Corporation
Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇺🇸 USA

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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