Verfahren und Vorrichtung zur Bestimmung einer Ausrichtung einer Photomaske auf einem um mindestens eine Achse Drehbaren Probentisch

EP4168859 Art B1 10. Juli 2024

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4168859
Aktenzeichen: EP21752678
Anmeldetag: 30. Juli 2021
Veröffentlichung: 10. Juli 2024
Erteilung: 10. Juli 2024
Rechtsraum: EP
IPC: G03F9/00G03F1/74G03F1/86

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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