Verfahren zur Bestimmung von Signalparametern, Heterodynes Interferometersystem, Lithographisches Gerät und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung

EP4172555 Art B1 10. April 2024

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4172555
Aktenzeichen: EP21728916
Anmeldetag: 27. Mai 2021
Veröffentlichung: 10. April 2024
Erteilung: 10. April 2024
Rechtsraum: EP
IPC: G01B9/02G03F7/20G03F9/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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