Verfahren zum Ermitteln eines Bildes eines Objekts

EP4172694 Art A1 3. Mai 2023

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4172694
Aktenzeichen
EP21733399
Anmeldetag
10. Juni 2021
Veröffentlichung
3. Mai 2023
Rechtsraum
EP
IPC
G03F1/84G02B27/09G06T7/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Carl Zeiss SMT GmbH
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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