Gesintertes Siliciumnitridsubstrat

EP4174020 Art A1 3. Mai 2023

Anmelder: Tokuyama Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4174020
Aktenzeichen
EP21833222
Anmeldetag
29. Juni 2021
Veröffentlichung
3. Mai 2023
Rechtsraum
EP
IPC
C01B21/068H01L23/15C04B35/587H05K1/03C04B35/581C04B35/584C04B35/634C04B35/638C04B35/64C04B35/645C04B37/02
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Tokuyama Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Tokuyama

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Shunan, gegründet 1918. Produziert unter anderem Spezialchemikalien, Zement und Halbleitermaterialien.

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