Breitbandstrahlungsgenerator mit Hohlkern auf der Basis von Photonischen Kristallfasern

EP4174568 Art A1 3. Mai 2023

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4174568
Aktenzeichen: EP21205790
Anmeldetag: 1. November 2021
Veröffentlichung: 3. Mai 2023
Rechtsraum: EP
IPC: G02F1/365G02B6/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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