Klammer zum Halten eines Gegenstandes und Verfahren

EP4174576 Art A1 3. Mai 2023

Anmelder: ASML Netherlands B.V., Berliner Glas GmbH 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4174576
Aktenzeichen
EP21205594
Anmeldetag
29. Oktober 2021
Veröffentlichung
3. Mai 2023
Rechtsraum
EP
IPC
G03F7/20H01L21/687
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
ASML Netherlands B.V.
Berliner Glas GmbH
Land
🇳🇱 Niederlande
🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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