Euv-Kollektor

EP4176314 Art A1 10. Mai 2023

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4176314
Aktenzeichen: EP21733930
Anmeldetag: 14. Juni 2021
Veröffentlichung: 10. Mai 2023
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20H05G2/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Optik & Fototechnik

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