Detektorsubstrat zur Verwendung in einem Mehrstrahl-Bewertungswerkzeug für Geladene Teilchen

EP4176467 Art A1 10. Mai 2023

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4176467
Aktenzeichen: EP21742087
Anmeldetag: 5. Juli 2021
Veröffentlichung: 10. Mai 2023
Rechtsraum: EP
IPC: H01L27/144H01L27/146H01L31/115H01J37/12H01J37/153H01J37/244H01J37/28H01J37/317

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

3.336 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von