Design einer Schaltung auf Sensorelementebene für eine Elektronenzähldetektionsvorrichtung

EP4179302 Art B1 14. Mai 2025

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4179302
Aktenzeichen: EP21742355
Anmeldetag: 6. Juli 2021
Veröffentlichung: 14. Mai 2025
Erteilung: 14. Mai 2025
Rechtsraum: EP
IPC: G01N23/2251H04N5/32H01J37/244G01T1/24

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Nachrichtentechnik & Telekommunikation

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