Optisches Beleuchtungssystem zur Führung von Euv-Strahlung

EP4179388 Art A1 17. Mai 2023

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4179388
Aktenzeichen: EP21703905
Anmeldetag: 5. Februar 2021
Veröffentlichung: 17. Mai 2023
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20G21K1/06G02B5/18

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

1.949 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Optik & Fototechnik

Vertreten von