Physikalische Dampfabscheidungsvorrichtung mit Kurzschlussunterbrechungssystem

EP4180551 Art B1 2. April 2025

Anmelder: Commissariat à l'Energie Atomique et aux Energies Alternatives, Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4180551
Aktenzeichen: EP22206423
Anmeldetag: 9. November 2022
Veröffentlichung: 2. April 2025
Erteilung: 2. April 2025
Rechtsraum: EP
IPC: C23C14/34C23C14/54C23C14/56C23C16/44

Offizieller Volltext

Abstract

L'invention se rapporte à un dispositif (1) de dépôt physique en phase vapeur, comprenant une chambre de dépôt (2) en partie délimitée par un fond de chambre (6), le dispositif comprenant en outre, logés dans la chambre :- des moyens de support de substrat (24) ; et- au moins une cible (14a) agencée dans une partie basse de la chambre (2).Selon l'invention, le dispositif comporte un système de rupture de court-circuit (50) susceptible d'être provoqué par un substrat (26) tombé et se trouvant en position de court-circuit en contact simultané avec la cible (14a) et le fond de chambre (6), le système de rupture de court-circuit (50) comprenant une structure (52) d'appui sur les substrats tombés (26), ainsi que des moyens (60) de mise en mouvement de la structure d'appui (52).

Anmelder

Firmen: Commissariat à l'Energie Atomique et aux Energies Alternatives
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives
Land: 🇫🇷 Frankreich

🇫🇷 CEA (Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives)

Französisches staatliches Forschungsinstitut mit Sitz in Paris (Verwaltung) und Standorten wie Grenoble und Saclay. Forscht in Kernenergie, erneuerbaren Energien, Mikroelektronik, Werkstoffwissenschaften, Verteidigungstechnik und Informationstechnologien.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

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