Vorrichtung zum Schutz von Flüssigkeitsleitungen in einer Euv-Quelle

EP4182587 Art A1 24. Mai 2023

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4182587
Aktenzeichen: EP21736273
Anmeldetag: 21. Juni 2021
Veröffentlichung: 24. Mai 2023
Rechtsraum: EP
IPC: F16K31/22H05G2/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Maschinenelemente & Fluidtechnik

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