Kühlmittelmikrolecksensor für ein Vakuumsystem
EP4182655
Art A1
24. Mai 2023
Anmelder: KLA Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4182655
- Aktenzeichen
- EP21862611
- Anmeldetag
- 25. August 2021
- Veröffentlichung
- 24. Mai 2023
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01M3/28G01M3/34G01M3/20G01M3/22
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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