Emitter zur Emission Geladener Teilchen

EP4182960 Art A1 24. Mai 2023

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4182960
Aktenzeichen: EP21745778
Anmeldetag: 15. Juli 2021
Veröffentlichung: 24. Mai 2023
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/075H01J3/02H01J37/073H01J1/14H01J1/304

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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