Verfahren zur Klassifizierung von Halbleiterscheiben

EP4182967 Art A1 24. Mai 2023

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4182967
Aktenzeichen: EP21734332
Anmeldetag: 21. Juni 2021
Veröffentlichung: 24. Mai 2023
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/66G03F7/20G05B19/418G05B23/02

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

3.336 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik Steuerungs- & Regelungstechnik

Vertreten von