Zerkleinerte Polykristalline Siliciumklumpen und Verfahren zur Herstellung davon

EP4186859 Art A1 31. Mai 2023

Anmelder: Tokuyama Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4186859
Aktenzeichen
EP21861661
Anmeldetag
26. August 2021
Veröffentlichung
31. Mai 2023
Rechtsraum
EP
IPC
C01B33/02C01B33/037B02C13/00B02C19/22H01L21/67
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Tokuyama Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Tokuyama

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Shunan, gegründet 1918. Produziert unter anderem Spezialchemikalien, Zement und Halbleitermaterialien.

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