Verfahren zum Plasmaätzen einer Schicht auf der Basis eines Iii-N-Materials
Anmelder: Commissariat à l'Energie Atomique et aux Energies Alternatives, Lam Research Corporation, Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives 🇫🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4187577
- Aktenzeichen
- EP21315254
- Anmeldetag
- 29. November 2021
- Veröffentlichung
- 31. Mai 2023
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/3065
Abstract
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Anmelder
- Firmen
- Commissariat à l'Energie Atomique et aux Energies Alternatives
Lam Research Corporation
Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives - Land
- 🇫🇷 Frankreich
Französisches staatliches Forschungsinstitut mit Sitz in Paris (Verwaltung) und Standorten wie Grenoble und Saclay. Forscht in Kernenergie, erneuerbaren Energien, Mikroelektronik, Werkstoffwissenschaften, Verteidigungstechnik und Informationstechnologien.
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US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.
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Die Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives (CEA) ist eine französische staatliche Forschungseinrichtung mit Schwerpunkt Kernenergie, alternative Energien und Grundlagenforschung. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt durch Software, Energietechnik und Werkstoffkunde. Anmeldungen sind seit 2000 durchgehend belegt.
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Fachgebiete
Hautier IP wurde 1892 gegründet und zählt zu den traditionsreichsten französischen Kanzleien für gewerblichen Rechtsschutz, mit Büros in Grenoble, Nizza, Paris, Marseille und Monaco. Mit strategisch-wirtschaftlichem Ansatz begleitet sie Mandanten bis zum Einheitspatent und gewährt über ihr Programm „Green“ Nachlässe für umweltorientierte Unternehmen.
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Hautier IP
Hautier IP · Nice