Vorrichtung und Verfahren zur Abscheidung Dicker Metallnitridbeschichtungen auf dem Superkritischen Fluidweg

EP4189137 Art A1 7. Juni 2023

Anmelder: SAFRAN, Centre National de la Recherche Scientifique, UNIVERSITE DE BORDEAUX 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4189137
Aktenzeichen
EP21752089
Anmeldetag
21. Juli 2021
Veröffentlichung
7. Juni 2023
Rechtsraum
EP
IPC
C23C18/12
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
SAFRAN
Centre National de la Recherche Scientifique
UNIVERSITE DE BORDEAUX
Land
🇫🇷 Frankreich
🇫🇷 SAFRAN

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