Vakuumpumpe mit einer Holweck-Pumpstufe mit Veränderlicher Holweck-Geometrie

Details

Veröffentlichungs-Nr.

EP4194700

Aktenzeichen

EP23168408

Anmeldetag

18. April 2023

Veröffentlichung

12. Februar 2025

Erteilung

12. Februar 2025

Rechtsraum

EP

IPC

F04D19/04

Abstract

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vakuumpumpe mit zumindest einer Holweck-Pumpstufe mit einem Einlass und einem Auslass in Pumprichtung stromabwärts des Einlasses. Die Holweck-Pumpstufe umfasst einen Holweck-Rotor mit einer Rotorhülse und einen Holweck-Stator mit einer Statorhülse, die unter Bildung eines Holweckspalts koaxial zu dem Holweck-Rotor angeordnet ist. Die Statorhülse weist ein Holweck-Gewinde mit mehreren Gewindenuten auf, die durch an der Statorhülse ausgebildete Stege und durch einen durch die Statorhülse gebildeten Nutgrund begrenzt sind. Die Statorhülse ist einstückig ausgebildet und zumindest ein Gewindeparameter des Holweck-Gewindes aus der Gruppe von Gewindeparametern, die aus der Anzahl der Stege, der Gewindesteigung, der Breite der Gewindenuten, der Breite der Stege und der Höhe der Stege über dem Nutgrund besteht, ändert sich über die axiale Erstreckung der Statorhülse .

Anmelder

Firma

Pfeiffer Vacuum Technology AG

Land

🇩🇪 Deutschland

Fachgebiete