Blende und Verfahren

EP4194908 Art A1 14. Juni 2023

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4194908
Aktenzeichen: EP21213814
Anmeldetag: 10. Dezember 2021
Veröffentlichung: 14. Juni 2023
Rechtsraum: EP
IPC: G02B5/00G02B27/10G03F7/00G21K1/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Optik & Fototechnik

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