Optisches Element

EP4194937 Art A1 14. Juni 2023

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4194937
Aktenzeichen: EP21213794
Anmeldetag: 10. Dezember 2021
Veröffentlichung: 14. Juni 2023
Rechtsraum: EP
IPC: G02F1/01G02F1/19

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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