Identifizierung von Abweichenden Modulen aus einer Referenzpopulation für die Maschinendiagnose

EP4194951 Art A1 14. Juni 2023

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4194951
Aktenzeichen: EP21214040
Anmeldetag: 13. Dezember 2021
Veröffentlichung: 14. Juni 2023
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20G06N20/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung

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