Vorrichtung zur Verarbeitung eines Waferförmigen Artikels

EP4197029 Art A1 21. Juni 2023

Anmelder: Lam Research AG 🇦🇹

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4197029
Aktenzeichen: EP21717065
Anmeldetag: 7. April 2021
Veröffentlichung: 21. Juni 2023
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/67H01L21/687

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Lam Research AG
Land: 🇦🇹 Österreich

🇺🇸 Lam Research

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von